低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的著(zhù)火電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現低溫狀態(tài)，所以稱(chēng)為低溫等離子體。

低溫等離子體內部產(chǎn)生富含高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較量的活性基團發(fā)生反應，終轉化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。

低溫等離子體去除污染物的機理：

等離子體化學(xué)反應過(guò)程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應過(guò)程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場(chǎng)＋電子→電子

(2)電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱

從以上過(guò)程可以看出，電子首先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產(chǎn)物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類(lèi)負離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應中起著(zhù)重要的作用。